Nova (NVMI)

De oplossingen van het bedrijf worden in meerdere fasen van de halfgeleiderproductie gebruikt. De portefeuille omvat dimensionele metrologie voor het meten van structuren op wafers, materiaalmetrologie voor het analyseren van filmeigenschappen, chemische metrologie voor proceschemie en software die productiegegevens interpreteert. Deze systemen ondersteunen fabrikanten bij de productie van geavanceerde logica, geheugen en andere halfgeleiderapparaten.

Nova bedient foundries, geïntegreerde apparaatfabrikanten en andere halfgeleiderproducenten in belangrijke chipproductieregio’s, waaronder China, Taiwan, de Verenigde Staten en andere markten. De apparatuur wordt doorgaans inline gebruikt, wat betekent dat metingen tijdens de productie plaatsvinden en niet alleen bij afzonderlijke laboratoriumcontroles. Dit helpt klanten procesdrift te identificeren, de controle te verbeteren en kostbare defecten te verminderen.

Het bedrijf onderscheidt zich doordat het hardware-, optische, röntgen- en materiaalanalysecapaciteiten combineert met geavanceerde algoritmen en software. Naarmate chiparchitecturen complexer worden, hebben fabrikanten nauwkeurigere meetinstrumenten nodig om kleinere geometrieën, nieuwe materialen en driedimensionale structuren te beheersen. De activiteiten van Nova zijn daarom nauw verbonden met kapitaaluitgaven in halfgeleiderproductie en met de voortdurende drang van de sector naar hogere prestaties, betere opbrengsten en snellere opschaling van de productie.